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CBTZ自动对位探针台能对晶片实现自动对位测试,
操作简单,快捷,测试精度高,具有MAP显示功能。
与测试仪连接后,能自动完成对各种晶体管芯的电参数测试及功能测试 。
可测片型:3 寸、 4寸、5寸,6寸、8寸
测试硅片单元尺寸:20—200 mil
定位精度:≤ ±0.01mm/110mm
自动对准精度:±0.01mm
误测率:≤ 1 ‰
全自动对位时间:≤ 15 s
测试速度 45 mil 5.0 pcs/s
50 mil 4.6 pcs/s
87 mil 4.2 pcs/s
步进分辨率:0.001
Z向行程:0~5mm 可调
承片台转角θ调节范围:±20o
CBTZ-3100Z型自动对位探针台能 对晶片实现自动对位测试,操作简单, 快捷,测试精度高,具有MAP显示功 能。它与测试仪连接后,能自动完成 对各种晶体管芯的电参数测试及功能 测试 。 | |
操作方式CBTZ型自动对位探针台 <span text-align:center;font-size:12px;"="" style="font-family: Arial"> 机器软件的操作界面 | 除此之外还提供了更加简洁 方 便的小键盘操作方式,操作者可依据 个人偏好和习惯选择任意种操作 。 功能小键盘 |
机器功能具有自动扫描对位功能,对位精度 | 具有圆形测试,范围重测,探边 测试,范围打点,回收测试,矩形测试和脱机打点多种测试功能。 |