样品台尺寸

4英寸/6英寸/8英寸/12英寸

水平旋转

可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置

X-Y移动行程

4英寸*4英寸/6英寸*6英寸/8英寸*8英寸

X-Y移动精度

10微米/1微米

样品固定

真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环

针座平台

U型针座平台，最多可放置8个探针座

背电极测试

样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极

温度范围

室温到300度/室温到400度/室温到600度

温控精度

1度/0.1度/0.01度

稳定性

±1度/±0.1度

外形尺寸

400mm长*400mm宽*600mm高/580mm长*480mm宽*600mm高/840mm长*600mm宽*700mm高

重量

约30千克/60千克/100千克

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移动行程

X-Y轴行程2英寸*2英寸/水平360度旋转，Z轴行程50.8mm

光源

外置LED环形光源/同轴光源

CCD

200万像素/500万像素/1200万像素

移动精度

10微米/2微米/0.7微米/0.5微米

吸附方式

磁力吸附/真空吸附

线缆

同轴线/三轴线

漏电精度

10pA/100fA/10fA

固定探针

弹簧固定/管状固定

接头类型

BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

针尖直径

0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

针尖材质

钨钢/铍铜

显示器

转接头

射频测试配件

屏蔽箱

光学平台

镀金卡盘

光电测试配件

高压测试配件

显微镜快速倾仰装置

激光系统

探针卡夹具