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高低温探针台测试系统
◆ 12英寸以内样品测试 ◆ 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量 ◆ 可搭配多种类型显微镜 ◆ 探针台可根据客户要求定制。 |
高低温探针台体规格:
CT-6/CT-8/CT-12 |
6英寸/8英寸/12英寸 |
可360度旋转,可微调15度,精度0.1度,带角度锁死装置 |
6英寸*6英寸/8英寸*8英寸/12英寸*12英寸 |
10微米/1微米 |
真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附环 |
U型针座平台,最多可放置6~12个探针座 |
可快速升降10mm/可微调升降10mm |
样品台电学独立悬空,4mm插孔可接背电极 |
负80°到正400° |
0.01°/0.1°/1° |
约120千克/150千克 |
光学系统:
单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
16X-200X/20X-4000X |
水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸,Z轴行程50.8mm |
外置LED环形光源/同轴光源 |
200万像素/500万像素/1200万像素 |
定位器:
12mm*12mm*12mm | |||||||
10微米/吸附方式 | 线缆 | 漏电精度 | 固定探针 | 接头类型 | 针尖直径 | 针尖材质 | ◆ 加热台 |
转接头 | |||||||
屏蔽箱 | |||||||
镀金卡盘 | |||||||
高压测试配件 | |||||||
激光系统 | |||||||
<span font-size:16px;"="" microsoft="" yahei";"="" style="font-family: 'Microsoft YaHei';font-size: 16px">探针卡夹具 |